溅射机理有（）。

多项选择题热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。

A.电阻
B.温度
C.电流
D.压强

多项选择题真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）

A.薄膜真空规
B.皮拉尼真空规
C.热偶真空规
D.电离真空规

多项选择题与小平面源相比，点蒸发源具有（）等特点。

A.膜厚分布均匀
B.沉积速率较低
C.薄膜纯度高
D.原料浪费少

多项选择题‏PECVD中，等离子体的激励方式有（）。

A.电子回旋共振
B.直流电场
C.微波耦合
D.射频电场

多项选择题不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。

A.粘滞流
B.粒子流
C.过渡流
D.分子流