判断题当入射离子能量小于一定值时，不会发生溅射现象。
判断题分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。
判断题蒸发镀膜时，必须将镀料加热至熔点温度以上。
多项选择题溅射机理有（）。
A.直流溅射B.反应溅射C.热蒸发理论D.级联碰撞理论
多项选择题热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。
A.电阻B.温度C.电流D.压强
