判断题分子泵、扩散泵都不是通过容积变化来达到抽气目的。
判断题蒸发镀膜时，必须将镀料加热至熔点温度以上。
多项选择题溅射机理有（）。
A.直流溅射B.反应溅射C.热蒸发理论D.级联碰撞理论
多项选择题热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。
A.电阻B.温度C.电流D.压强
多项选择题真空系统中进行真空测量的元件通常称为真空计或真空规管，请指出下面哪几种是常用的真空测量元件？（）
A.薄膜真空规B.皮拉尼真空规C.热偶真空规D.电离真空规
