多项选择题溅射机理有（）。
A.直流溅射B.反应溅射C.热蒸发理论D.级联碰撞理论
多项选择题热偶规和热阻规工作原理基本相同，只是分别通过采集规管热丝上的（）信号来测量真空的大小。
A.电阻B.温度C.电流D.压强
