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问答题

简答题 列出半导体工艺史上的几个主要工艺,并说明当前的主流工艺是什么,以及该工艺的主要优点?

【参考答案】

主要的半导体工艺:
1960s,Bipolar(双极型)IC工艺;
1970s,NMOS E/D(增强/耗尽型)工艺;
1980s,CMOS工艺;
1990s,BiCMOS工艺,砷化镓工艺。
主流工艺:CMOS工艺。
主要优点:集成密度高而功耗低。