问答题
简答题 根据氧化物的生长规律，试说明热氧化生长过程中的两个主要阶段，并说明它们分别位于氧化生长过程中的哪一时段，各自的生长模型和规律以及反映生长速率的参数和影响该参数的主要因素是什么？
【参考答案】
分为线性氧化阶段和抛物线氧化阶段，他们分别位于氧化硅生长的初始阶段或氧化层足够薄时和氧化一段时间后的氧化硅生长的第二阶段或氧化层足够厚时。
线性阶段：当氧化层足够薄时，可忽略D－G模型中的二次项，则：；即：氧化层厚度与氧化时间成线性关系（正比），称为硅的线性氧化，有：B/A=N0......
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