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问答题

简答题 什么是表面反应控制?什么是扩散控制?并说明什么情况下生长过程分别为这两种控制,以及这两种控制在生长速率上呈何种反应?

【参考答案】

表面反应控制阶段:SiO2生长的初始阶段,SiO2的生长速率即氧化层生长的快慢主要由硅表面上化学反应即氧化反应的快慢来决定,故称为表面反应控制阶段,它是一线性阶段。意味着:反应控制阶段中,硅片表面的氧化层随时间以线性速率生长,且生长率受限于表面反应的快慢。......

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