结深为xj，长宽相等的一个扩散薄层的电阻（设平均电阻率为），就是该扩散层的方块电阻（或薄层电阻）。
问答题试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
问答题什么是扩散的相互作用？试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。
问答题说明氧化气氛对扩散有何影响及原因？
问答题根据空位机制下的总扩散系数公式，给出本征硅，低浓度掺杂，N型重掺杂及P型重掺杂下的扩散系数公式。
问答题列出并解释替位杂质在硅中的三种主要扩散机制。
