氧化增强扩散（OED）机理—存在替位-间隙交替的双扩散； 氧化抑制扩散（ORD）机理—以替位扩散为主。
名词解释什么是薄层电阻; 薄层电阻名词解释定义是什么?
问答题试说明横向扩散以及横向扩散的主要影响。
问答题什么是扩散的相互作用？试举一例说明其对半导体器件的制造有何影响及其产生的原因。
问答题说明氧化气氛对扩散有何影响及原因？
问答题根据空位机制下的总扩散系数公式，给出本征硅，低浓度掺杂，N型重掺杂及P型重掺杂下的扩散系数公式。
