判断题窄线效应:Gate line width小于1um,Ti salicide的薄膜电阻明显上升。
判断题MRC是一种溅射工艺机台。
判断题溅射法可以保持复杂合金原组分。
判断题溅射能够沉积高熔点的难熔金属。
判断题膜的均匀性越好,越有利于刻蚀。