问答题什么是等离子体?以及等离子体的分类(按电离程度)?
问答题真空蒸发系统应包括那些组成部分?
问答题辉光放电过程中为什么P·d太小或太大,都不容易起辉放电?
问答题简述物理气相沉积法的共同特点?
问答题讨论工作气体压力对溅射镀膜过程的影响?