（1）化学反应需要高温； （2）反应气体会和基片或设备发生化学反应； （3）在化学气相沉积中所使用的设备可能较为复杂，且有许多变里需要控制。
问答题简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
问答题何为低温泵，按其工作原理可分几种类型？
问答题何为分子泵，其工作特点是什么？分子泵有哪几种形式，各有何特点？
问答题何为机械泵，其工作特点是什么？机械泵有哪几种形式？
问答题何为前级泵和次级泵？
