简答题 何为激光化学气相沉积，它的主要机制和作用是什么？

【参考答案】

激光化学气相沉积是通过使用激光源产生出来的激光束实现化学气相沉积的一种方法。从本质上讲，由激光触发的化学反应有两种机制：
（1）一种为光致化学反应，
（2）另一种则为热致化学反应。
作用：在光致化学反应过程中，具有足够高能里的光子用于使分子分解并成膜，或和存在于反应气体......

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