问答题

简答题在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变里有那些？涉及那几个基本过程？

【参考答案】

气体流量、气体组分、沉积温度、气压、真空室几何构型等。
因此，化学气相沉积涉及三个基本过程：
（1）反应物的输运过程；
（2）化学反应过程；
（3）去除反应副产品过程。

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