简答题 化学气相沉积反应器的设计类型可分成几种，各自特点有哪些？

【参考答案】

（1）常压和
（2）低压式
（3）热壁式
（4）冷壁式
特点：
（1）常压式反应器：运行的缺点是需要大流童携载气体、大尺寸设备，得到的膜污染程度高。
（2）低压式反应器：不需携载气体，并在低压下只使用少最反应气体，此时，气体从-端注入，在另-端用真空泵......

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