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单项选择题

A.扫描电子显微镜B.光学显微镜C.透射电子显微镜D.原子力显微镜要观察半导体器件上的针眼和小孔、钝化层裂缝等……

要观察半导体器件上的针眼和小孔、钝化层裂缝等缺陷,应使用()。

A.扫描电子显微镜
B.光学显微镜
C.透射电子显微镜
D.原子力显微镜