AlSi合金中含Si比例一般为（）。……

单项选择题CVD TiN TDMAT的载气是（）。

A.He
B.Ar
C.N₂
D.O₂

单项选择题蒸发台真空度的要求一般（）。

A.≤9E-7torr
B.≥9E-7torr
C.≤9E-5torr
D.≥9E-5torr

单项选择题溅射中用于轰击靶材的气体是（）。

A.Ar
B.He
C.N₂
D.O₂

单项选择题PVD的定义为（）。

A.物理气相沉积
B.化学气相沉积
C.等离子气相沉积
D.平面真空镀膜

问答题简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。