A.蒸镀B.溅镀C.电镀D.焊镀
单项选择题AlSi合金中含Si比例一般为（）。
A.1%B.3%C.5%D.7%
单项选择题CVD TiN TDMAT的载气是（）。
A.HeB.ArC.N2D.O2
单项选择题蒸发台真空度的要求一般（）。
A.≤9E-7torrB.≥9E-7torrC.≤9E-5torrD.≥9E-5torr
单项选择题溅射中用于轰击靶材的气体是（）。
A.ArB.HeC.N2D.O2
单项选择题PVD的定义为（）。
A.物理气相沉积B.化学气相沉积C.等离子气相沉积D.平面真空镀膜
