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问答题

简答题 简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。

【参考答案】

薄膜具有宏观应力,则x射线衍射峰位会出现位移,而如果薄膜具有微观应力,则X射线衍射峰的宽度会变宽。利用X射线行射技术测童薄膜应力的两种方法为:
(1)一种方法是改变X射线入射角,同时改变探测器的方向,观测正反射方向的衍射图形;
(2)另一种方法是X射线的入射角保持一定,改变探测器方向观测行射线图形。