填空题薄膜是指附着于基底,且与基底不同质的()涂层。
判断题PVD填孔性能的指标是台阶覆盖率。
判断题Al膜反射率过高,会对光刻产生不利影响。
判断题为了不与薄膜成分发生反应,溅射气体通常使用惰性气体。
判断题大尺寸的晶粒有利于防止电迁移。