填空题镀制单层介质薄膜时,第二次看到相同的反射色时的膜层光学厚度是第一次看到相同的反射色时膜层光学厚度的()倍。
填空题薄膜是指附着于基底,且与基底不同质的()涂层。
判断题PVD填孔性能的指标是台阶覆盖率。
判断题Al膜反射率过高,会对光刻产生不利影响。
判断题为了不与薄膜成分发生反应,溅射气体通常使用惰性气体。