溅射过程中通过将哪种气体轰击靶材（）

多项选择题Endura5500 degas腔的作用为（）。

A.除湿气，增加结合力
B.转向，确保wafer角度一致
C.去除晶圆表面的自然氧化层
D.使晶圆表面温度迅速冷却

多项选择题TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性

多项选择题在线使用的靶材主要有（）。

A.AlSi
B.Ti/TiN
C.AlCu
D.纯Al

多项选择题需要监控的参数包括（）。

A.膜的晶粒
B.膜的厚度
C.膜的均匀性
D.膜的反射率

多项选择题PVD有哪些种类？（）

A.蒸镀
B.溅镀
C.电镀
D.焊镀