A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光C.钨塞制程中作为钨的粘附层D.提升刻蚀的速率和均匀性
多项选择题在线使用的靶材主要有（）。
A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
多项选择题需要监控的参数包括（）。
A.膜的晶粒B.膜的厚度C.膜的均匀性D.膜的反射率
多项选择题PVD有哪些种类？（）
A.蒸镀B.溅镀C.电镀D.焊镀
单项选择题AlSi合金中含Si比例一般为（）。
A.1%B.3%C.5%D.7%
单项选择题CVD TiN TDMAT的载气是（）。
A.HeB.ArC.N2D.O2
