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单项选择题

A.APCVDB.LPCVDC.PCVDD.PECVDP5000机台属于哪种类型的CVD工艺()……

P5000机台属于哪种类型的CVD工艺()

A.APCVD
B.LPCVD
C.PCVD
D.PECVD