A.AlSiB.Ti/TiNC.AlCuD.纯Al
多项选择题需要监控的参数包括（）。
A.膜的晶粒B.膜的厚度C.膜的均匀性D.膜的反射率
多项选择题PVD有哪些种类？（）
A.蒸镀B.溅镀C.电镀D.焊镀
单项选择题AlSi合金中含Si比例一般为（）。
A.1%B.3%C.5%D.7%
单项选择题CVD TiN TDMAT的载气是（）。
A.HeB.ArC.N2D.O2
单项选择题蒸发台真空度的要求一般（）。
A.≤9E-7torrB.≥9E-7torrC.≤9E-5torrD.≥9E-5torr
