A.除湿气，增加结合力B.转向，确保wafer角度一致C.去除晶圆表面的自然氧化层D.使晶圆表面温度迅速冷却E……

多项选择题TiN膜的三个用途包括（）。

A.用作阻挡层，防止Al/Si互溶导致漏电
B.用作ARC、降低Al的反射率利于曝光
C.钨塞制程中作为钨的粘附层
D.提升刻蚀的速率和均匀性

多项选择题在线使用的靶材主要有（）。

A.AlSi
B.Ti/TiN
C.AlCu
D.纯Al

多项选择题需要监控的参数包括（）。

A.膜的晶粒
B.膜的厚度
C.膜的均匀性
D.膜的反射率

多项选择题PVD有哪些种类？（）

A.蒸镀
B.溅镀
C.电镀
D.焊镀

单项选择题AlSi合金中含Si比例一般为（）。

A.1%
B.3%
C.5%
D.7%