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问答题

简答题 简述溅射的概念及溅射参数?

【参考答案】

溅射是指荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子或者分子从表面射出的现象。
1.溅射阈值
2.溅射率及其影响因素
3.溅射粒子的速度和能量分布
4.溅射原子的角度分布
5.溅射率的计算