溅射是指荷能粒子轰击固体表面(靶),使固体原子或者分子从表面射出的现象。 1.溅射阈值 2.溅射率及其影响因素 3.溅射粒子的速度和能量分布 4.溅射原子的角度分布 5.溅射率的计算
问答题简述射频辉光放电的特点?
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