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问答题

简答题 简述溅射镀膜和真空镀膜的特点?

【参考答案】

1.任何物质都可以溅射,尤其是高熔点、低蒸气压元素化合物
2.溅射膜和基板的附着性好
3.溅射镀膜密度高,针孔少,且膜层的纯度较高
4.膜度可控性和重复性好