1.在辉光放电空间产生的电子可以获得足够的能量，足以产生碰撞电离； 2.由于减少了放电对二次电子的依赖，降低了击穿电压； 3.射频电压可以通过各种阻抗偶合，所以电极可以是非金属材料。
问答题简述正常辉光放电和异常辉光放电的特征？
问答题简述溅射镀膜和真空镀膜的特点？
