简答题 简述MBE的特点？

【参考答案】

（1）是以系统中的四级质谱仪、原子吸收光谱等仪器，精密的监测分子束的强度和种类，从而严格控制生长过程和生长速率。
（2）膜的组分和掺杂浓度可随源的变化迅速做出调整。
（3）衬底温度低，降低了界面上热膨胀引起的晶格失配效应和衬底杂质对外延层的自掺杂扩散影响。
（4）是一个......

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