(1)固相-固相平衡的晶体生长驱动力:应变力。 (2)液相-固相平衡的晶体生长驱动力:过冷度。 (3)气相-固相平衡的晶体生长驱动力:过饱和度。
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问答题影响化学气相沉积制备材料质量有哪几个主要因素?
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