（1）气相反应室； （2）加热系统； （3）气体控制系统； （4）排气系统
问答题简述动量的传递方式
问答题简述热能传递的方式
名词解释什么是边界层; 边界层名词解释定义是什么?
问答题简述化学气相沉积法的五个基本步骤
问答题简述CVD技术的热动力学原理——热力学
