（1）均匀性 （2）各向异性 （3）自限性 （4）对称性 （5）最小内能和最大稳定性。
问答题影响化学气相沉积制备材料质量有哪几个主要因素？
问答题简述热壁LCVD装置
问答题简述常压单晶外延和多晶薄膜沉积装置。
问答题简述化学气相沉积生产装置
问答题简述动量的传递方式
