真空是泛指低于当地大气压的气体状态。真空的特点是单位体积内的分子数较大气压下减少，分子之间以及分子与容器壁之间的碰撞次数减少。
问答题如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象？
问答题磁控溅射沉积中为什么会出现“拉弧”？
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问答题在靶中毒的情况下，沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象？
问答题为什么反应溅射沉积速率低？
