简答题 在靶中毒的情况下，沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象？

【参考答案】

当反应气体流量超过一定数量时，溅射进入反应模式，溅射速率明显下降。而减少反应气体流量至原反转点时，反应模式并不返回到原溅射速率较高的金属模式，而是继续减少到一定数量时，才会发生反转，这一现象称为迟滞现象。其产生原因是因为整个沉积装置具有吸纳气体的能力，即贮存气体的作用。充入的气体量大，贮存就多。当减......

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