A.分子成键B.原子堆积C.化学吸附D.台阶流动外延薄膜的生长方式可以分为（）和二维成核式两种模式。……

单项选择题等离子鞘层中两极间的全部电压降几乎均集中在（）中。

A.阳极
B.阴极鞘层
C.阴极
D.阳极鞘层

单项选择题‌不同压力下，气体的流动状态可以分（），粘滞流和介于两者之间的过渡状态。

A.分子流
B.原子流
C.紊流
D.层流

单项选择题以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）

A.熔结
B.原子填充
C.吞并
D.原子团迁移

判断题对于LPCVD Si3N4工艺，NH3 DCS比例越小颗粒改善越明显。（）

判断题在LPCVD Si3N4制程中，增加总压力和DCS的分压可以增加淀积速度。（）