A.钴B.三氧化二铝C.铝D.氧化硅
单项选择题外延薄膜的生长方式可以分为（）和二维成核式两种模式。
A.分子成键B.原子堆积C.化学吸附D.台阶流动
单项选择题等离子鞘层中两极间的全部电压降几乎均集中在（）中。
A.阳极B.阴极鞘层C.阴极D.阳极鞘层
单项选择题不同压力下，气体的流动状态可以分（），粘滞流和介于两者之间的过渡状态。
A.分子流B.原子流C.紊流D.层流
单项选择题以下哪一个不是连续薄膜的生长方式？（）
A.熔结B.原子填充C.吞并D.原子团迁移
判断题对于LPCVD Si3N4工艺，NH3 DCS比例越小颗粒改善越明显。（）
