判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。
判断题离子的质量远大于电子,故离子束加工的生产率比电子束高,但表面粗糙度稍差。
判断题离子束加工和电子束加工类似,主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。
填空题通常所说的“三束加工”(高能束)是指()和()
填空题()加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。
填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等()作用,而不像电子束是通过()效应进行加工。
填空题在电子工业中,离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的(),也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。
填空题金属的离子注入改性目的在于提高金属的()性能、()强度和()性能。
填空题电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束(),因而可获得更加精细的图样。
填空题离子束加工时,由于离子质量大,当速度高、能量大时,垂直撞击时离子可注入工件材料内部,称()。当速度低、能量小时,离子可以溅射镀覆在工件表面,称()。当能量速度()而倾斜撞击工件时,可将工件表面的分子,原子撞击出去,一层一层的剥离下来,称为()加工或()加工。
判断题爆炸成形适合于大批量的小型简单工件加工。
判断题化学镀也叫做自催化镀。
判断题化学抛光对低碳钢的抛光效果比高碳钢的差。
判断题光化学加工是时间越长,加工的腔体拐角半径越大。
判断题光化学加工装置比化学加工的装置更为简单。