判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。
判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。
判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。
判断题离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。
填空题通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）
