判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。
判断题离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。
填空题通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）
填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。
填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。
