填空题通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）
填空题（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。
填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。
填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。
填空题金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。
