（）加工是目前特种加工工艺方法中最精密、最微细的加工方法。

填空题离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

填空题在电子工业中，离子注入成为了微电子工艺中的一种重要的（），也是控制MOSFET阈值电压的一个重要手段。

填空题金属的离子注入改性目的在于提高金属的（）性能、（）强度和（）性能。

填空题电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。

填空题离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。