判断题CMOS制作时,源、漏、栅等结构都做在场氧化区。
判断题LOCOS工艺主要用于制作MOS管的栅氧结构。
判断题制备多晶硅之前先做一层薄氧,这层薄氧是栅氧。
判断题制作场氧区的时候,氮化硅的作用是作为LOCOS氧化时的掩蔽层。
判断题采用双阱工艺,可以实现PMOS和NMOS的独立控制。