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单项选择题

A.Ar回蚀法B.PSG或BPSG的热回流C.SOG回蚀法D.化学机械抛光表面平垣化的方式有很多种,效果最好的……

表面平垣化的方式有很多种,效果最好的方式是()

A.Ar回蚀法
B.PSG或BPSG的热回流
C.SOG回蚀法
D.化学机械抛光