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单项选择题

在集成电路多层布线中,通常采用钨插销连接各层布线的最主要原因()

A.钨的导电率比铝更低
B.钨的刻蚀比铝更容易
C.采用化学气相沉积法制备的钨具有更好的填孔能力
D.钨与硅的接触性能更好

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