问答题

简答题什么是硅栅自对准？

【参考答案】

在硅栅形成后，利用硅栅的遮蔽作用来形成MOS管的沟道区，使MOS管的沟道尺寸更精确，寄生电容更小。
离子注入B⁺，栅区有多晶硅做掩蔽，称为硅栅自对准工艺。

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