问答题描述热氧化过程。
问答题说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
问答题二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
问答题STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
问答题描述金属复合层中用到的材料？
