①干氧：Si＋O2 SiO2 氧化速度慢，氧化层干燥、致密，均匀性、重复性好，与光刻胶 的粘附性好 ②水汽氧化：Si+H2O SiO2（固）+H2（气） 氧化速度快，氧化层疏松，均匀性差，与光刻胶的粘附性差 ③湿氧：氧气携带水汽，故既有Si与氧气反应，又有与水汽反应 氧化速度、氧化质量介于以上两种方法之间
问答题说明水汽氧化的化学反应，水汽氧化与干氧氧化相比速度是快还是慢？为什么？
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