问答题为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺?更小的栅长会引发什么问题?
问答题为什么要采用LDD工艺?它是如何减小沟道漏电流的?
问答题光刻和刻蚀的目的是什么?
问答题离子注入后为什么要进行退火?
问答题离子注入前一般需要先生长氧化层,其目的是什么?