化学反应：Si+2H2O->SiO2+2H2 水汽氧化与干氧氧化相比速度更快，因为水蒸气比氧气在二氧化硅中扩散更 快、溶解度更高
问答题二氧化硅薄膜在集成电路中具有怎样的应用？
问答题STI隔离技术中，为什么采用干法离子刻蚀形成槽？
问答题描述金属复合层中用到的材料？
问答题为什么晶体管栅结构的形成是非常关键的工艺？更小的栅长会引发什么问题？
问答题为什么要采用LDD工艺？它是如何减小沟道漏电流的？
